[发明专利]一种硫化锌红外光学窗口保护膜系结构的制造方法

摘要

本发明涉及一种硫化锌红外光学窗口保护膜系结构的制造方法，包括(1)以硫化锌为原料制造基板，包括研磨、熔融、澄清均化、成型、退火处理和冷却；(2)对基板的抛光面进行清洗预处理，所述清洗预处理具体为：将基片放置在酒精中超声波清洗10min，然后用去离子水反复冲洗后吹干，所述基片离射频源190mm，丁烷充入的流量为50sccm等8个步骤；本发明通过高强度保护层技术，解决硫化锌窗口的软肋问题，提高了窗口抵抗雨蚀、吹尘等极端环境的能力，扩大硫化锌窗口在高速运动平台上的应用范围；采用多层粘接层技术，提高了保护层与基底结合的牢固度，使粘接层与保护层构成多层减反射膜系结构，有效降低了由于保护层引起的窗口表面的反射损失。

主权项

1.一种硫化锌红外光学窗口保护膜系结构的制造方法，包括基片和高强度保护膜系；所述基片有硫化锌材料制成；所述高强度保护膜系由三种薄膜材料制备的膜层沉积而成；所述膜系依次包括：类金刚石膜层、硒化锌膜层和硫化锌膜层；所述类金刚石膜层有2‑5层，其厚度为20‑30nm；所述硒化锌膜层有1‑3层，其厚度为10‑20nm；所述硫化锌膜层有5‑8层，其厚度为30‑50nm；其特征在于，包括如下步骤：(1)以硫化锌为原料制造基板，包括研磨、熔融、澄清均化、成型、退火处理和冷却；(2)对基板的抛光面进行清洗预处理，所述清洗预处理具体为：将基片放置在酒精中超声波清洗10min，然后用去离子水反复冲洗后吹干；(3)将基片放置在PECVD设备射频阴极极板上，并将真空室真空抽至3×10^‑3Pa，接着向射频源充入氩气，同时射频源放电将氩气离子化形成氩离子，氩离子对准基片进行7‑15min轰击；(4)向真空室内充满气态硫化锌，即在基片表面沉积形成硫化锌膜层；(5)将工件温度缓慢降至室温，降温速率为50‑60℃/h；(6)重复进行步骤(1)‑(3)，之后向真空室充满气态硒化锌，完成基片表面沉积形成硒化锌膜层；(7)重复步骤(5)重复步骤(1)‑(3)并向真空室充满气体丁烷，完成基片表面沉积形成类金刚石膜；(8)将工件温度缓慢降至室温，降温速率为30‑50℃/h即得。