[发明专利]基于光刻掩膜与微液池的电化学高通量测试方法与装置

摘要

本发明基于光刻掩膜与微液池的电化学高通量测试方法与装置涉及金属腐蚀、微区电化学及系统性数据积累应用技术领域。构成包括微液池测试系统、测试液更新系统、高精度XYZ三维移动平台、显微监控系统、电化学测试系统、存储及控制系统及在各系统间控制指令与测试数据有效传输的连接系统。本发明采用模块化设计，可拓展性高，将光刻掩膜技术和微液池测试系统结合，并结合高通量思想，精准控制工作电极反应面积，具有高溶液量/工作电极反应面积比，减小反应产物的影响，消除缝隙腐蚀，降低漏液、堵塞、氧扩散风险的发生，具有更低的溶液电阻，可根据需要选择掩膜图形和微细管尺寸，实现了微区电化学的高通量、自动化测量，提高测量和分析效率。

主权项

基于光刻掩膜与微液池的电化学高通量测试装置，其特征在于，所述装置包括：微液池测试系统，用于提供待测金属试样微区电化学测量所需的稳定的微液池及提供三电极体系中对电极与参比电极，且能够寻找、定位所述待测金属试样微区的位置；高精度XYZ三维移动平台系统，能够在三维方向调整金属试样的位置和角度；电化学测试系统，能够对所述待测金属试样微区进行电化学实验测量；测试液更新系统，所述测试液更新系统能够在试验开始前吹落微细管尖端液滴，完成测试液更新，降低测试液对待测金属试样微区电化学信息表征的影响；存储及控制系统，能够存储试验过程中产生的各种数据，对所述装置中的各个系统进行统一协调控制；连接系统，能够实现所述装置中各系统间的数据、指令的通讯连接以及物质输送。