[发明专利]一种原子气体腔室以及制备方法有效
| 申请号： | 201711174164.6 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108107707B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈星;杨仁福;张振伟;薛潇博;张旭 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | G04F5/14 | 分类号： | G04F5/14 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100854 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种原子气体腔室以及制备方法，包括：第一玻璃板、中间硅片层和第二玻璃板，且所述第一玻璃板、所述中间硅片层和所述第二玻璃板通过一次键合得到所述原子气体腔，所述中间硅片层中包含通孔，所述第二玻璃板上包含凹槽；所述通孔的位置与所述凹槽的位置相对。通过一次性键合的方式完成原子气体腔室的密封，有效提升了原子气体腔室的密封性；同时，通过在第二玻璃板上刻蚀凹槽，实现反应化合物和反应生成物存在凹槽内，与第二玻璃板的透光部分区分开，保证了原子气体腔室的透光性，同时保证了CPT原子钟的频率的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 体腔 以及 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种原子气体腔室，其特征在于，包括：第一玻璃板、中间硅片层和第二玻璃板，且所述第一玻璃板、所述中间硅片层和所述第二玻璃板通过一次键合得到所述原子气体腔室，其中：所述中间硅片层中包含通孔，所述第二玻璃板上包含凹槽；所述通孔的位置与所述凹槽的位置相对。
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