[发明专利]采用液相界面层洁净、无损转移大面积二维材料的方法有效

专利信息
申请号: 201711167326.3 申请日: 2017-11-21
公开(公告)号: CN109809358B 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 马来鹏;任文才;成会明 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人: 张志伟
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及二维材料的转移技术,具体为一种采用包含液相界面层的复合转移介质实现洁净、无损转移大面积二维材料的方法。首先在位于初始基体的大面积二维材料表面形成液相界面层,并在液相界面层表面形成转移介质层;然后将转移介质/液相界面层/二维材料复合膜与初始基体分离;将界面层转变为液相,再将转移介质/液相界面层/二维材料复合膜的二维材料表面与目标基体结合;在去除转移介质和界面层之后,实现二维材料到目标基体的转移。该方法通过在转移介质与二维材料之间引入液相界面层的方法,改善转移介质与初始基体表面的二维材料之间的结合、以及转移介质表面的二维材料与目标基体之间的结合,同时减少转移介质与二维材料的直接接触。
搜索关键词: 采用 界面 洁净 无损 转移 大面积 二维 材料 方法
【主权项】:
1.一种采用液相界面层洁净、无损转移大面积二维材料的方法,其特征在于:该方法通过在转移介质与二维材料之间引入液相界面层的方法,改善转移介质与初始基体表面的二维材料之间的结合、以及转移介质表面的二维材料与目标基体之间的结合,同时减少转移介质与二维材料的直接接触;首先在位于初始基体的大面积二维材料表面形成液相界面层,并在界面层表面形成转移介质层;然后将转移介质/液相界面层/二维材料复合膜与初始基体分离;再将转移介质/液相界面层/二维材料复合膜的二维材料表面与目标基体结合;在去除转移介质和界面层之后,实现二维材料到目标基体的转移;在转移介质与二维材料之间引入液相界面层的方法,改善转移介质、二维材料以及目标基体之间的结合,从而提高转移大面积二维材料的结构完整性;由于界面层的阻隔作用以及液化后比固相材料更易于去除,显著减少转移介质在二维材料表面的残留,作为一种洁净、无损转移大面积二维材料的有效方法;该方法具体步骤如下:(1)在位于初始基体的二维材料表面形成液相界面层,然后在液相界面层的表面形成转移介质层;(2)将转移介质/液相界面层/二维材料复合膜与初始基体分离;(3)将转移介质/液相界面层/二维材料复合膜的二维材料表面与目标基体结合;(4)去除转移介质和液相界面层。
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