[发明专利]基于激光腔调谐多重回馈位移测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于激光腔调谐多重回馈位移测量装置及测量方法，该测量装置包括回馈外腔、激光器、位移单元和信号探测及处理单元。激光器包括腔镜反射镜、集成式反射镜和激光增益管，激光增益管设置于腔镜反射镜和集成式反射镜之间，集成式反射镜的中心位置处开设有激光透射部；集成式反射镜和回馈反射镜构成回馈外腔，集成式反射镜与回馈反射镜相对且间隔设置；集成式反射镜连接位移单元。上述测量装置及测量方法，在激光器中会发生激光腔调谐效应，产生多倍频条纹，同时在回馈外腔中会形成多重高阶回馈效应，在腔调谐效应产生的每一个多倍频条纹中再产生高倍频条纹，从而大大地提高了每个回馈光学条纹的测量分辨率，可达到亚纳米量级。

主权项

1.一种基于激光腔调谐多重回馈位移测量装置，其特征在于，所述位移测量装置包括激光器、回馈外腔、位移单元和信号探测及处理单元，所述激光器包括腔镜反射镜、集成式反射镜和激光增益管，所述激光增益管设置于所述腔镜反射镜和集成式反射镜之间；所述集成式反射镜和回馈反射镜构成回馈外腔，所述集成式反射镜与回馈反射镜相对且间隔设置；所述集成式反射镜的中心位置处设有激光透射部，激光器输出的激光通过所述激光透射部入射到所述回馈反射镜表面；所述集成式反射镜连接位移单元，所述位移单元能够推动集成式反射镜进行移动；信号探测及处理单元，能够用于接收激光器输出的激光回馈条纹并计算位移。