[发明专利]SiC氧化反应的非接触式在线检测方法及装置在审
| 申请号： | 201711156383.1 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107966415A | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 金华;孟松鹤;李哲文;曾庆轩;易法军 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司11609 | 代理人： | 周娇娇,谭辉 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种SiC氧化反应的非接触式在线检测方法，包括以下步骤通过聚焦光路实时探测离解氧环境中的SiC试样近表面空间区域气体的光谱信号；通过分析所述光谱信号判断所述SiC试样近表面是否存在Si原子，是则确定SiC试样近表面发生主动氧化，否则发生被动氧化。本发明还涉及一种SiC氧化反应的非接触式在线检测装置，可实时在线检测SiC材料的氧化反应状态，相对于传统氧化后材料分析的测试方法，本发明大幅度减少SiC氧化和后期材料分析的实验量，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | sic 氧化 反应 接触 在线 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种SiC氧化反应的非接触式在线检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、通过聚焦光路实时探测离解氧环境中的SiC试样近表面空间区域气体的光谱信号；S2、通过分析所述光谱信号判断所述SiC试样近表面是否存在Si原子，是则确定所述SiC试样发生主动氧化，否则发生被动氧化。
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