[发明专利]一种新型扩晶机

摘要

本发明公开了一种新型扩晶机，包括基座、内压圈、外压圈和限位机构，基座的上端设置有下压板，下压板的边缘铰接有上压板，下压板与上压板之间设置有锁紧机构，上压板与下压板的中部对应设置有圆孔，基座上设置有可穿过圆孔的圆形扩晶盘，扩晶盘的下表面连接有第一气缸并，扩晶盘内部设置有加热装置，扩晶盘上表面的边缘环绕设置有阶梯，内压圈的内圈与阶梯相配合，基座上还设置有立柱，立柱的顶端连接有固定板，固定板上通过第二气缸连接有与外压圈外圈配合的压盖，压盖的边缘设置有刀刃，限位机构包括支撑杆，设置在支撑杆顶端的限位板。本发明的一种新型扩晶机，具有结构简单，生产效率高，可以精准控制晶片扩张程度等优点。

主权项

一种新型扩晶机，其特征在于，包括基座(1)、内压圈(2)、外压圈(3)和限位机构(4)，基座(1)的上端设置有下压板(5)，下压板(5)的边缘铰接有上压板(6)，下压板(5)与上压板(6)之间设置有锁紧机构，上压板(6)与下压板(5)的中部对应设置有圆孔(7)，基座(1)上设置有可穿过圆孔(7)的圆形扩晶盘(8)，扩晶盘(8)的下表面连接有第一气缸(9)并通过第一气缸(9)驱动其上下运动，扩晶盘(8)内部设置有加热装置，扩晶盘(8)上表面的边缘环绕设置有阶梯(10)，内压圈(2)的内圈与阶梯(10)相配合，外压圈(3)的内圈与内压圈(2)的外圈相配合，基座(1)上还设置有立柱(17)，立柱(17)的顶端连接有固定板(18)，固定板(18)上通过第二气缸(19)连接有与外压圈(3)外圈配合的压盖(20)，压盖(20)的边缘环绕设置有刀刃(21)，限位机构(4)包括竖直设置在基座(1)上的支撑杆(11)，以及水平可转动设置在支撑杆(11)顶端的限位板(12)。