[发明专利]一种微流量气体密封的泄漏量检测装置

摘要

本发明提供一种提高检测精度的微流量气体密封的泄漏量检测装置，属于气体密封领域。本发明包括试验模块、参照模块、差压变送器和数据采集处理模块；试验模块用于为待检测工装提供参照模块相同的气压，差压变送器连接在试验模块与参照模块之间，用于实时有效的读取参照模块管路与试验模块管路的压力差，当待检测工装产生微量泄漏后，试验模块气体压力下降，数据采集处理模块将压力差换算成检测模块中气体的泄漏量，实现实时检测的功能。本发明保持参照模块压力不变，通过差压变送器读取压力差的方式来对气体泄漏量进行间接测量。相比于直接测量，本发明简单方便，成本较低；相比于直接读取管路压力的检测方式，本装置精确度更高。

主权项

一种微流量气体密封的泄漏量检测装置，其特征在于，所述检测装置包括试验模块、参照模块、压差检测模块和数据采集处理模块；参照模块，用于提供参考气压；试验模块，用于连接待检测的工装，为所述工装提供所述参考气压；压差检测模块，同时与试验模块和参照模块连接，用于实时检测所述工装的气压和所述参考气压的气压差；数据采集处理模块，与压差检测模块连接，获取其实时检测的气压差，对该气压差进行处理，获取所述工装的气体泄漏量。