[发明专利]气体喷射器和立式热处理装置

摘要

本发明涉及气体喷射器和立式热处理装置。该气体喷射器设置于立式热处理装置，用于向立式的反应容器内供给在基板上成膜用的成膜气体，将基板保持器具向在周围配置有加热部的反应容器内输入来对多个基板进行热处理，该基板保持器具沿上下方向将多个基板排列成搁板状来进行保持，该气体喷射器具备：筒状的喷射器主体，其以沿上下方向延伸的方式配置于反应容器内，沿上下方向在喷射器主体形成有多个气体供给孔；以及筒状的气体导入管，其沿上下方向以与喷射器主体成为一体的方式设置，该气体导入管具备：气体接受口，其接受成膜气体；以及气体导入口，其与喷射器主体的内部空间连通，该气体导入口向该内部空间导入成膜气体。

主权项

1.一种气体喷射器，其设置于立式热处理装置，该气体喷射器用于向立式的反应容器内供给在基板上成膜用的成膜气体，该立式热处理装置将基板保持器具向在周围配置有加热部的所述反应容器内输入来对多个所述基板进行热处理，该基板保持器具沿着上下方向将多个所述基板排列成搁板状来进行保持，其中，该气体喷射器具备：筒状的喷射器主体，其以沿着上下方向延伸的方式配置于所述反应容器内，沿着所述上下方向在所述喷射器主体形成有多个气体供给孔；以及筒状的气体导入管，其沿着所述上下方向以与所述喷射器主体成为一体的方式设置，该气体导入管具备：气体接受口，其接受所述成膜气体；以及气体导入口，其与所述喷射器主体的内部空间连通，该气体导入口向该内部空间导入所述成膜气体。