[发明专利]超精密陶瓷导轨及其制备方法在审
| 申请号： | 201711102803.8 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN109776094A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 刘海林;贾志辉;胡传奇;黄小婷;霍艳丽;杨泰生 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是关于一种超精密陶瓷导轨及其制备方法，其制备方法包括：1)将碳化硅粉、炭黑粉、粘接剂和水混合，得到浆料；2)将所述的浆料制成陶瓷导轨素坯；3)将所述的陶瓷导轨素坯一次加工、烧结、精密加工，得到超精密陶瓷导轨；其中，所述的浆料，以重量份数计，其包括：碳化硅粉：60‑80份；炭黑粉：5‑15份；粘结剂：3‑6份；水：10‑25份。本发明的超精密陶瓷导轨具有强度高、弹性模量高、热导率高、热膨胀系数低、热变形系数小、密度低等特点，在光刻机等集成电路制造装备及三坐标测量机等精密测量设备中有独特的优势，满足其轻质、高强、变形小的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷导轨 超精密 浆料 制备 碳化硅粉 炭黑粉 素坯 弹性模量 集成电路制造 精密测量设备 三坐标测量机 热变形系数 热膨胀系数 精密加工 一次加工 烧结 光刻机 热导率 水混合 粘接剂 粘结剂 重量份 轻质 变形 | ||
【主权项】：
1.一种超精密陶瓷导轨的制备方法，其特征在于，其包括：1)将碳化硅粉、炭黑粉、粘接剂和水混合，得到浆料；2)将所述的浆料制成陶瓷导轨素坯；3)将所述的陶瓷导轨素坯一次加工、烧结、精密加工，得到超精密陶瓷导轨；其中，所述的浆料，以重量份数计，其包括：碳化硅粉：60‑80份；炭黑粉：5‑15份；粘结剂：3‑6份；水：10‑25份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国建筑材料科学研究总院有限公司，未经中国建筑材料科学研究总院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711102803.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：纳米复合热电材料的制备方法
- 下一篇：化学结晶法制备高纯硅碳棒的加工工艺
