[发明专利]压电元件以及压电元件应用设备在审
申请号: | 201711094954.3 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN108206237A | 公开(公告)日: | 2018-06-26 |
发明(设计)人: | 北田和也;角浩二;一色铁也;酒井朋裕;高桥敏明 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/18 | 分类号: | H01L41/18;B41J2/14 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 苏萌萌;张林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种压电元件以及压电元件应用设备,该压电元件在含Mn的KNN类压电材料中,明确了作为添加物而被包含在结晶中的Mn的价数的最佳状态,并且实现了压电体层的结晶取向性的提高,具有优异的绝缘性。该压电元件具备:第一电极,其被形成于基板上;压电体层,其被形成于所述第一电极上,并由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)以及锰(Mn)的钙钛矿结构的复合氧化物构成;第二电极,其被形成于所述压电体层上,其中,锰包括二价的锰(Mn2+)、三价的锰(Mn3+)、四价的锰(Mn4+),二价的锰相对于三价的锰与四价的锰之和的摩尔比(Mn2+/(Mn3++Mn4+))为1以上且10以下,且钾相对于钠的摩尔比(K/Na)为1.1以下。 | ||
搜索关键词: | 压电元件 压电体层 第一电极 应用设备 摩尔比 二价 三价 四价 复合氧化物 钙钛矿结构 结晶取向性 添加物 第二电极 压电材料 绝缘性 基板 | ||
【主权项】:
1.一种压电元件,其特征在于,具备:第一电极,其被形成于基板上;压电体层,其被形成于所述第一电极上,并由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)以及锰(Mn)的钙钛矿结构的复合氧化物构成;第二电极,其被形成于所述压电体层上,所述锰包括二价的锰(Mn2+)、三价的锰(Mn3+)、四价的锰(Mn4+),所述二价的锰相对于所述三价的锰与所述四价的锰之和的摩尔比(Mn2+/(Mn3++Mn4+))为1以上且10以下,并且,所述钾相对于所述钠的摩尔比(K/Na)为1.1以下。
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