[发明专利]涂敷方法有效
| 申请号： | 201711077442.6 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN108067401B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 藤原直澄 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;崔炳哲 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂敷方法，该涂敷方法在直径是300毫米且主面形成有直立的多个图案要素的基板上，用处理液对该主面进行处理。用该处理液进行处理后，在该主面上进行填充材料溶液的涂敷。在填充材料溶液的涂敷处理中，通过向水平状态的基板的朝向上方的该主面供给纯水并旋转所述基板，形成覆盖该主面且厚度是5微米以下的纯水的液膜。然后，以每分钟300转以上且每分钟500转以下的转速旋转所述基板，并且向该主面的中央部供给包含水溶性的填充材料的填充材料溶液。由此，能够对用处理液进行处理后的基板的主面适当地涂敷填充材料溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷方法，用处理液对形成有图案的基板的主面进行处理后，在所述主面上涂敷填充材料溶液，其中，所述涂敷方法包括：a)工序，通过向水平状态的所述基板的朝向上方的所述主面供给纯水并旋转所述基板，形成覆盖所述主面且厚度在5微米以下的纯水的液膜，在基板的主面上形成有直立的多个图案要素；以及b)工序，以每分钟300转以上且每分钟500转以下的转速旋转所述基板，并向所述主面的中央部供给包含水溶性的填充材料的填充材料溶液，所述基板的直径是300毫米。
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