[发明专利]一种柔性OLED显示面板的制备方法及柔性OLED显示面板

摘要

本发明提供了一种柔性OLED显示面板的制备方法，包括提供硬质基板，在硬质基板上制备柔性基底层，在柔性基底层上依次制备缓冲层、半导体层、第一栅绝缘层，并进行沟道掺杂，在第一栅绝缘层上制备第一栅极，并进行源漏极掺杂；经活化处理后，在第一栅极上制备第二栅绝缘层；经氢化处理后，在第二栅绝缘层上依次制备第二栅极、有机间绝缘层、源漏极、平坦层和OLED结构，最后采用激光剥离工艺将硬质基板与柔性基底层分离，得到柔性OLED显示面板。本发明的柔性OLED显示面板制备过程中将活化和氢化工艺提前，省略了间绝缘层中无机间绝缘层的制备，减少柔性OLED显示面板厚度，缩短生产流程。

主权项

一种柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，包括：提供硬质基板，在所述硬质基板上制备柔性基底层；在所述柔性基底层上依次制备缓冲层、半导体层、第一栅绝缘层，并进行沟道掺杂；在所述第一栅绝缘层上制备第一栅极，并进行源漏极掺杂；经活化处理后，在所述第一栅极上制备第二栅绝缘层；经氢化处理后，在所述第二栅绝缘层上依次制备第二栅极、有机间绝缘层、源漏极、平坦层和OLED结构；最后采用激光剥离工艺将所述硬质基板与所述柔性基底层分离，得到柔性OLED显示面板。