[发明专利]一种柔性OLED显示面板的制备方法及柔性OLED显示面板

权利要求书

1.一种柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，包括：

提供硬质基板，在所述硬质基板上制备柔性基底层；

在所述柔性基底层上依次制备缓冲层、半导体层、第一栅绝缘层，并进行沟道掺杂；

在所述第一栅绝缘层上制备第一栅极，并进行源漏极掺杂；

经活化处理后，在所述第一栅极上制备第二栅绝缘层，所述活化处理为：于400℃-600℃温度下退火10min-120min；

经氢化处理后，在所述第二栅绝缘层上依次制备第二栅极、有机间绝缘层、源漏极、平坦层和OLED结构，所述氢化处理采用等离子体氢化法、固态扩散法或氢离子注入法，所述氢化处理过程中氢化温度为250℃-450℃，所述氢化处理时间为0.5h-4h，所述有机间绝缘层的材质包括聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯、硅基倍半氧烷树脂中的一种或多种，所述有机间绝缘层的厚度为0.8μm-1.2μm；

最后采用激光剥离工艺将所述硬质基板与所述柔性基底层分离，得到柔性OLED显示面板。

2.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，所述活化处理的温度设置为450℃，所述活化处理的时间为60min。

3.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，所述第一栅极绝缘层的材质为氮化硅、氧化硅、氮氧化硅中的一种或多种组合物，第二栅极绝缘层的材质包括氮化硅。

4.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，所述第一栅极和第二栅极的材质包括钼、铝、铜、钛中的一种或多种组合。

5.一种柔性OLED显示面板，其特征在于，采用如权利要求1-4任一项所述的制备方法制备得到，所述柔性OLED显示面板包括柔性基底层，以及依次形成在所述柔性基底层上的缓冲层、半导体层、第一栅绝缘层、第一栅极、第二栅绝缘层、第二栅极、有机间绝缘层、源漏极、平坦层和OLED结构，所述有机间绝缘层部分覆盖在所述第二栅极表面，部分覆盖在所述第二栅绝缘层表面，所述平坦层覆盖在所述有机间绝缘层表面且完全覆盖所述源漏极。