[发明专利]单次曝光高数值孔径脉冲激光相干衍射成像装置、使用方法有效
| 申请号： | 201711064095.3 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN107703642B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 张剑;周成壮;李小龙;吴大同 | 申请（专利权）人： | 山东建筑大学 |
| 主分类号： | G02B27/42 | 分类号： | G02B27/42 |
| 代理公司： | 37221 济南圣达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄海丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 250101 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单次曝光高数值孔径脉冲激光相干衍射成像装置及使用方法，所述装置包括沿光束前进方向依次共轴设置有脉冲激光器(1)、衰减片(2)、偏振镜(3)、第一透镜(4)、光阑(5)、样品台(6)、反光镜组(7)、带孔反光镜(8)、光束收集器(9)；沿反光镜组(7)的反射光束前进方向依次设置有第二透镜(10)液氮冷却CCD图像传感器(11)；带孔反射镜(8)的反射光束前进方向设置有普通CCD图像传感器(12)，所述液氮冷却CCD图像传感器(11)和普通CCD图像传感器(12)均与计算机(13)连接。采用本发明的装置，能够同时获取高角度和中央衍射光斑，提高三维重建精度。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 数值孔径 脉冲 激光 相干 衍射 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单次曝光高数值孔径脉冲激光相干衍射成像装置，其特征在于，沿光束前进方向依次共轴设置有脉冲激光器(1)、衰减片(2)、偏振镜(3)、第一透镜(4)、光阑(5)、样品台(6)、反光镜组(7)、带孔反光镜(8)、光束收集器(9)；沿反光镜组(7)的反射光束前进方向依次设置有第二透镜(10)液氮冷却CCD图像传感器(11)；带孔反光镜(8)的反射光束前进方向设置有普通CCD图像传感器(12)，所述液氮冷却CCD图像传感器(11)和普通CCD图像传感器(12)均与计算机(13)连接，所述反光镜组(7)由多个彼此分离的共面平面镜组成，光束透过反光镜组(7)的间隙到达带孔反光镜(8)。/n
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