[发明专利]一种高频等离子体在冷坩埚中启动熔化的装置和方法在审
| 申请号： | 201711006680.8 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107606946A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 唐皇哉;张清勇;胡树金 | 申请（专利权）人： | 睿为电子材料（天津）有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/06 | 分类号： | F27B14/06;F27B14/14 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司12101 | 代理人： | 谢宇强 |
| 地址： | 300382 天津市西青区学*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高频等离子体在冷坩埚中启动熔化的装置和方法，该装置包括冷坩埚，沿冷坩埚周向设置的电磁感应线圈，感应等离子体炬，沿感应等离子体炬环绕设置的等离子体感应线圈，氩气供气系统和升降系统；感应等离子体炬位于冷坩埚的正上方，感应等离子体炬和等离子体感应线圈均连接于控制感应等离子体炬升降的升降系统上，感应等离子体炬的上端设置氩气通入口，氩气通入口与氩气供气系统连通。该方法通过使氩气电离，形成纯净的等离子体火焰，使粉体熔化，同时通过电磁感应线圈产生的磁场对原料粉体进行感应加热，完成冷坩埚的启动熔化过程；使得启动熔化过程迅速，且该感应等离子体没有任何电极，保证了启动熔化过程无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 等离子体 坩埚 启动 熔化 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种高频等离子体在冷坩埚中启动熔化的装置，包括冷坩埚和沿冷坩埚周向设置的电磁感应线圈，其特征在于：还包括感应等离子体炬，沿感应等离子体炬环绕设置的等离子体感应线圈，氩气供气系统和升降系统；所述感应等离子体炬位于冷坩埚的正上方，所述感应等离子体炬和等离子体感应线圈均连接于控制感应等离子体炬升降的升降系统上，所述感应等离子体炬的上端设置氩气通入口，所述氩气通入口与氩气供气系统连通。
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