[发明专利]基板浮置装置及基板浮置方法在审
| 申请号： | 201710992216.4 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN108008552A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 成普滥璨;李东润;刘同真 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板浮置装置及基板浮置方法。所述基板浮置装置可包括：具有浮置基板的工作台且具有惰性气体氛围的主腔体；具有与主腔体相同的惰性气体氛围的辅助腔体；具有配置在辅助腔体内的至少一个压力生成要素及连接至少一个压力生成要素与工作台的压力线路，以此从辅助腔体向主腔体供应惰性气体以提供用于将基板浮置在工作台的上部的压力的压力提供单元；及具有配置在辅助腔体内的真空形成要素及连接真空形成要素与工作台的真空线路，以此从主腔体向辅助腔体吸入惰性气体以提供用于将基板浮置在工作台的上部的真空的真空提供单元。本发明能够通过预定的压力和实质真空浮置基板。 | ||
| 搜索关键词： | 基板浮置 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板浮置装置，其特征在于，包括：主腔体，其具有浮置基板的工作台且具有惰性气体氛围；辅助腔体，其具有与所述主腔体相同的惰性气体氛围；压力提供单元，具有配置在所述辅助腔体内的至少一个压力生成要素及连接所述至少一个压力生成要素与所述工作台的压力线路，以此从所述辅助腔体向所述主腔体供应所述惰性气体以提供用于将所述基板浮置在所述工作台的上部的压力；及真空提供单元，其具有配置在所述辅助腔体内的真空形成要素及连接所述真空形成要素与所述工作台的真空线路，以此从所述主腔体向所述辅助腔体吸入所述惰性气体以提供用于将所述基板浮置在所述工作台的上部的真空。
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