[发明专利]一种复合薄膜在审
| 申请号： | 201710964104.8 | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN107601513A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 许美凤 | 申请（专利权）人： | 安徽省华腾农业科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/145 | 分类号： | C01B33/145;C09D1/00 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)34124 | 代理人： | 王志兴 |
| 地址： | 246000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种复合薄膜，其特征在于，该复合薄膜包括纳米二氧化硅颗粒和前驱体溶胶组成的复合溶胶液，通过旋涂法将复合溶胶液旋涂成膜。本发明制备工艺简单，原理安全可靠，制成的材料性能好，制备环境友好，应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 薄膜 | ||
【主权项】：
一种复合薄膜，其特征在于，该复合薄膜包括纳米二氧化硅颗粒和前驱体溶胶；将纳米二氧化硅颗粒加入至前驱体溶胶中，利用超声波分散溶胶30‑60分钟，使得纳米二氧化硅颗粒充分均匀的分散在溶胶中，得到复合溶胶液，其中改性纳米二氧化硅颗粒在溶胶中的质量分数为1‑3％；利用旋涂法成膜，将所制备得到的复合溶胶液旋涂在单晶硅基底上成膜，转速为1000‑3000转/分钟，旋涂时间为20‑60秒，成膜后，将样品置于常温下静置20‑50h；然后将其放在高温炉中，以2‑5℃/分钟的升温速率升温至300℃‑450℃，保温4‑6小时，自然冷却至室温，既得到复合薄膜。
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