[发明专利]低能量背散射电子探测器在审
| 申请号： | 201710936186.5 | 申请日： | 2017-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN107976458A | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 李国庆;韩华;马宏图;陈曦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院自动化研究所 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203 |
| 代理公司： | 北京瀚仁知识产权代理事务所(普通合伙)11482 | 代理人： | 宋宝库,王世超 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低能量背散射电子探测器，该探测器包括半导体探测基底和设置在所述基底表面的覆膜，所述覆膜的材料为铍、碳或石墨烯，或者这三种材料的任意组合。所述覆膜的厚度≤10nm。所述低能量背散射电子探测器包括第一内圈部分和第二外圈部分，所述第一内圈部分为环形，所述第二外圈部分包括绕所述第一内圈部分均匀地周向设置的多个子部分，操作时对各个部分探测的信号进行加和处理可得到样品的成分信息，作差处理可得到样品在连接各部分探测器方向上的形貌信息；多个部分可以独立工作或协同工作，可以分别得到样品的成分像或形貌像。本发明不但具有较强的电子穿透能力，且具有较好的探测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 能量 散射 电子 探测器 | ||
【主权项】：
一种低能量背散射电子探测器，其特征在于，所述低能量背散射电子探测器包括第一内圈部分和第二外圈部分。
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