[发明专利]化学气相沉积炉及生产氧化亚硅的方法

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物升华；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有可转动的沉积盘，沉积腔室还包括对沉积盘冷却的冷却单元，沉积盘用于沉积产物，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛。本发明中的化学气相沉积炉中的沉积盘可旋转，从而使得沉积盘上沉积的产物均匀分布，提高了沉积产物的一致性，产物具有较高的质量稳定性，满足工业化生产需求。

主权项

1.一种化学气相沉积炉，包括炉体，其特征在于，还包括炉体内设置的：加热腔室，用于加热原料反应生成产物并使得产物升华；沉积腔室，与加热腔室密封连接，且与加热腔室连通，沉积腔室内设置有可转动的沉积盘，沉积腔室还包括对沉积盘冷却的冷却单元，沉积盘用于沉积产物，沉积腔室开设有沉积腔室开口，通过沉积腔室开口调节沉积腔室内的气氛。