[发明专利]一种方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机在审
申请号: | 201710877751.5 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN107731713A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 南通华林科纳半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机,包括储液箱,所述储液箱上表面的中部固定连接有电磁隔膜泵,所述电磁隔膜泵下表面的中部固定连接有吸液管,所述吸液管贯穿储液箱的顶部延伸至储液箱内部的底端,所述吸液管的一侧固定连接有回流管,所述电磁隔膜泵的一侧固定连接有送液管,所述送液管远离电磁隔膜泵的一端固定连接有清洗机。该方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机,具备结构简单,使用方便,能自动添加酸溶液化学品,保证化学品溶液添加精确,减少了化学品溶液使用中存在的安全隐患等优点,解决了现有技术中清洗所使用的化学药液不能自动添加,工作量大,且容易对操作员带来化学腐蚀伤害的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 方便 补充 溶液 黑硅制绒 腐蚀 清洗 | ||
【主权项】:
一种方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机,包括储液箱(1),其特征在于:所述储液箱(1)上表面的中部固定连接有电磁隔膜泵(2),所述电磁隔膜泵(2)下表面的中部固定连接有吸液管(3),所述吸液管(3)贯穿储液箱(1)的顶部延伸至储液箱(1)内部的底端,所述吸液管(3)的一侧固定连接有回流管(4),所述电磁隔膜泵(2)的一侧固定连接有送液管(5),所述送液管(5)远离电磁隔膜泵(2)的一端固定连接有清洗机(6),所述电磁隔膜泵(2)上表面的一端固定连接有电磁控制器(7),所述电磁控制器(7)远离电磁隔膜泵(2)的一端固定连接有电源线(8),所述储液箱(1)上表面的一端固定连接有进液管(9),所述进液管(9)远离储液箱(1)的一端固定连接有密封盖(10),所述储液箱(1)远离进液管(9)的一端固定连接有安全阀(11),所述安全阀(11)的一侧固定连接有溢流管(12),所述溢流管(12)远离安全阀(11)的一端固定连接有熟石灰储存箱(13)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造