[发明专利]一种方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机在审

专利信息
申请号: 201710877751.5 申请日: 2017-09-26
公开(公告)号: CN107731713A 公开(公告)日: 2018-02-23
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 南通华林科纳半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18;C30B33/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226500 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机,包括储液箱,所述储液箱上表面的中部固定连接有电磁隔膜泵,所述电磁隔膜泵下表面的中部固定连接有吸液管,所述吸液管贯穿储液箱的顶部延伸至储液箱内部的底端,所述吸液管的一侧固定连接有回流管,所述电磁隔膜泵的一侧固定连接有送液管,所述送液管远离电磁隔膜泵的一端固定连接有清洗机。该方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机,具备结构简单,使用方便,能自动添加酸溶液化学品,保证化学品溶液添加精确,减少了化学品溶液使用中存在的安全隐患等优点,解决了现有技术中清洗所使用的化学药液不能自动添加,工作量大,且容易对操作员带来化学腐蚀伤害的问题。
搜索关键词: 一种 方便 补充 溶液 黑硅制绒 腐蚀 清洗
【主权项】:
一种方便补充酸溶液的黑硅制绒腐蚀清洗机,包括储液箱(1),其特征在于:所述储液箱(1)上表面的中部固定连接有电磁隔膜泵(2),所述电磁隔膜泵(2)下表面的中部固定连接有吸液管(3),所述吸液管(3)贯穿储液箱(1)的顶部延伸至储液箱(1)内部的底端,所述吸液管(3)的一侧固定连接有回流管(4),所述电磁隔膜泵(2)的一侧固定连接有送液管(5),所述送液管(5)远离电磁隔膜泵(2)的一端固定连接有清洗机(6),所述电磁隔膜泵(2)上表面的一端固定连接有电磁控制器(7),所述电磁控制器(7)远离电磁隔膜泵(2)的一端固定连接有电源线(8),所述储液箱(1)上表面的一端固定连接有进液管(9),所述进液管(9)远离储液箱(1)的一端固定连接有密封盖(10),所述储液箱(1)远离进液管(9)的一端固定连接有安全阀(11),所述安全阀(11)的一侧固定连接有溢流管(12),所述溢流管(12)远离安全阀(11)的一端固定连接有熟石灰储存箱(13)。
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