[发明专利]显影设备

摘要

本发明提供的一种显影设备，通过设置第二盖板中部背向显影工作台方向突出，以将溅到第二盖板上的显影液或纯水通过第二盖板侧边流下，第二盖板与壳体的内壁连接，即第二盖板形成中间高侧边低的形状，当有溅到第二盖板上的液体时，液体在重力的作用下沿第二盖板侧边流下，并通过壳体的侧壁流到显影工作室，从而避免从第二盖板滴落到基板上形成膜上异物。

主权项

一种显影设备，包括显影工作室，其特征在于，所述显影工作室包括壳体和第一盖板，所述壳体顶端设开口，所述第一盖板设于所述开口处且盖合至所述壳体，所述壳体内设用于固定待显影器件的显影工作台、相对所述显影工作台上部设置的第一喷洒装置、相对所述显影工作台下部设置的第二喷洒装置、设于所述第一喷洒装置上部的第二盖板，所述第一盖板位于所述第二盖板的背离所述第一喷洒装置的一侧，所述第一喷洒装置和所述第二喷洒装置均用于喷洒显影液或纯水，以对所述待显影器件进行显影或冲洗；所述第二盖板中部背向所述显影工作台方向突出，以将溅到所述第二盖板上的所述显影液或纯水通过所述第二盖板侧边流下，所述第二盖板与所述壳体的内壁连接。