[发明专利]一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备及方法有效
| 申请号： | 201710829085.8 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107505341B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 吴中毅;袁刚;郑健;马昌玉;刘兆邦;范梅生;杨晓冬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备，其具有X射线检测主体及屏蔽壳体；其中，X射线检测主体具有：X射线源，其产生的X射线照射置于载物台上的待检芯片；探测器，其探测穿过待检芯片的X射线；芯片夹具，其以可脱离的形式定位于载物台上，芯片夹具设有若干个芯片槽；运动平台，其被配置为实现载物台在X、Y和Z三方向上的运动；以及控制系统，其被配置为实时获取运动平台的位置坐标，并按一定路径驱动运动平台。本发明还提供了一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测方法。本发明可将隐藏的芯片内部的缺陷呈现在图像当中，并通过对缺陷部分的自动识别和提取，实现LED芯片的快速、无损和自动化批量检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 射线 led 芯片 缺陷 自动检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于X射线的LED芯片缺陷自动检测设备，其特征在于，包括X射线检测主体及设于所述X射线检测主体外围的屏蔽壳体；其中，所述X射线检测主体具有：X射线源，其产生的X射线照射置于载物台上的待检芯片；探测器，其探测穿过所述待检芯片的X射线；芯片夹具，其以可脱离的形式定位于所述载物台上，所述芯片夹具设有若干个芯片槽；运动平台，其被配置为实现载物台在X、Y和Z三方向上的运动；以及控制系统，其被配置为实时获取所述运动平台的位置坐标，并按一定路径驱动所述运动平台。
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