[发明专利]分体式掩模有效
| 申请号： | 201710794670.9 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107799670B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 白大源;金宗范 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种分体式掩模。所述分体式掩模包括：包括至少一个开口图案的主体以及处于主体的边缘处的夹持部分，夹持部分具有随着相距主体的距离增加而增加的宽度，而且夹持部分包括从主体延伸并且包括至少一个虚拟图案的扇出部分以及具有随着相距扇出部分距离增加而减小的宽度的至少一个分支部分。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 | ||
【主权项】：
一种分体式掩模，包括：主体，包括至少一个开口图案；以及夹持部分，处于所述主体的边缘处，所述夹持部分具有随着相距所述主体的距离增加而增加的宽度，而且所述夹持部分包括：扇出部分，从所述主体延伸并且包括至少一个虚拟图案，以及至少一个分支部分，所述至少一个分支部分具有随着相距所述扇出部分的距离增加而减小的宽度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
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