[发明专利]用于调节光电倍增管真空度的方法、装置以及制作方法

摘要

本发明公开了一种用于调节光电倍增管阴极制备过程中真空度的方法、装置以及光电倍增管的光电阴极的制作工艺，通过设置多种真空调节装置并合理安排调节工艺，使得光电倍增管在制备过程中可按照不同步骤精确调节至最佳真空度，使得制备的光电倍增管性能优良且一致性高。

主权项

1.一种调节光电倍增管制备过程中真空度的装置，其特征在于：在钟罩上设置有放气装置，所述放气装置一端连接外部惰性气体气源、另一端连接钟罩内腔并设置有开关；在与钟罩适配的底座上设置有抽气口和MCP腔体连接口，抽气口位于远离钟罩内部的一端与抽气装置连通，MCP腔体连接口在远离钟罩内部的一端处与MCP腔体连通，所述MCP腔体上设置有MCP腔体真空泵；在位于靠近钟罩内部的一端处的底座上设置有罩在抽气口处的一号活动挡片；在位于靠近钟罩内部的一端处的底座上设置有罩在MCP腔体连接口处的二号活动挡片；所述一号活动挡片倾斜设置在抽气口处，且倾角可调，在正对抽气口的方向上一号活动挡片完全覆盖抽气口所在范围；所述二号活动挡片水平设置在MCP腔体连接口之上，且二号活动挡片与MCP腔体连接口之间的距离可调。