[发明专利]多电极堆叠布置有效
| 申请号： | 201710740511.0 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN107507750B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | W.H.乌尔巴努斯;M.J-J.维兰德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/065;H01J37/12;H01J37/317 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；束源真空腔室(53)，其用于容纳带电粒子源(52)，以及产生器真空腔室(51)，其用于将准直器电极堆叠(70)容纳在真空中和将束源真空腔室(53)容纳在所述真空中；其中准直器堆叠(70)定位于所述束源真空腔室(53)的外部。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 堆叠 布置 | ||
【主权项】：
1.一种用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：/n带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；/n准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；/n束源真空腔室(53)，其用于产生第一真空并且用于容纳带电粒子源(52)，其中所述带电粒子源(52)位于束源真空腔室(53)内部以将所述带电粒子源(52)定位于所述第一真空中，/n产生器真空腔室(51)，其用于产生第二真空并且用于容纳准直器电极堆叠(70)和束源真空腔室(53)，其中所述束源真空腔室(53)位于所述产生器真空腔室(51)内部以将所述束源真空腔室(53)定位于所述第二真空中；其中准直器电极堆叠(70)定位于所述产生器真空腔室内部以将准直器电极堆叠定位在所述第二真空中，并且准直器电极堆叠(70)定位于所述束源真空腔室(53)的外部；以及/n被设置在产生器真空腔室(51)内部的至少一个真空泵系统(122、123)，其中所述至少一个真空泵系统包括吸气泵。/n
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