[发明专利]一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规在审
申请号: | 201710739470.3 | 申请日: | 2017-08-22 |
公开(公告)号: | CN107527786A | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
发明(设计)人: | 李得天;王永军;成永军;张虎忠;董猛;郭美如;李艳武;孙健;李刚 | 申请(专利权)人: | 兰州空间技术物理研究所 |
主分类号: | H01J41/06 | 分类号: | H01J41/06 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人: | 代丽,仇蕾安 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规。本发明通过采用阳极栅网顶部端面直接提取电子的方法,增大了发射电子的有效利用率,将碳纳米管阴极电离规的测量下限延伸至10‑9Pa的极高真空范围。本发明包括笼状阳极栅网、离子收集极、电级基座以及固定在电级基座上的碳纳米管阴极,所述碳纳米管阴极与笼状阳极栅网的顶部端面相对,电级基座通过设置在基座两端的云母片固定在阳极栅网顶部端面的上方;阳极栅网的顶部端面为网状结构,利用网状结构的阳极栅网的顶部端面直接提取电子。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 下限 纳米 阴极 电离 | ||
【主权项】:
一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规,包括笼状阳极栅网(4)、离子收集极(5)、电级基座(1)以及固定在电级基座(1)上的碳纳米管阴极(2),其特征在于,所述碳纳米管阴极(2)与笼状阳极栅网(4)的顶部端面(6)相对,电级基座(1)通过设置在基座两端的云母片(3)固定在阳极栅网(4)顶部端面(6)的上方;阳极栅网(4)的顶部端面(6)为网状结构,利用网状结构的阳极栅网(4)的顶部端面(6)直接提取电子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所,未经兰州空间技术物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710739470.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种时间可调的延时切断硬件保护电路
- 下一篇:电子烟用充电器
- 同类专利
- 一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规-201710739470.3
- 李得天;王永军;成永军;张虎忠;董猛;郭美如;李艳武;孙健;李刚 - 兰州空间技术物理研究所
- 2017-08-22 - 2017-12-29 - H01J41/06
- 本发明公开了一种测量下限较低的碳纳米管阴极电离规。本发明通过采用阳极栅网顶部端面直接提取电子的方法,增大了发射电子的有效利用率,将碳纳米管阴极电离规的测量下限延伸至10‑9Pa的极高真空范围。本发明包括笼状阳极栅网、离子收集极、电级基座以及固定在电级基座上的碳纳米管阴极,所述碳纳米管阴极与笼状阳极栅网的顶部端面相对,电级基座通过设置在基座两端的云母片固定在阳极栅网顶部端面的上方;阳极栅网的顶部端面为网状结构,利用网状结构的阳极栅网的顶部端面直接提取电子。
- 一种对称式碳纳米管阴极电离规-201510409913.3
- 张虎忠;李得天;习振华;郭美如;袁征难;裴晓强;刘珈彤 - 兰州空间技术物理研究所
- 2015-07-13 - 2017-03-08 - H01J41/06
- 本发明公开了一种对称式碳纳米管阴极电离规,采用室温下可以实现电子场发射的碳纳米管阵列作为阴极,克服了高温热阴极对热敏感、光敏感和强磁场系统的干扰,同时基于场发射机理,降低了功耗需求。在衬底双面生长碳纳米管阵列阴极,并采用对称双电极设置,在不改变电路复杂性的前提下,有效延长了电子运动轨迹长度,有利于提高此类电离规的灵敏度;另外,在门极4与收集极6之间增加电压更高的阳极5,使得电子在门极4与收集极6之间震荡,也延长了电子运动路径,进一步提高了电离规的灵敏度。
- 一种磁铁型冷阴极电离真空规管及包含其的真空测量系统-201320375690.X
- 李泞;陈旗;胡鹏飞 - 成都国光电气股份有限公司
- 2013-06-27 - 2013-12-25 - H01J41/06
- 一种磁铁型冷阴极电离真空规管及包含其的真空测量系统,一种磁铁型冷阴极真空电离规管,其特征在于,所述磁铁型冷阴极真空电离规管包括电极、磁系统;所述一个电极是所述磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳,所述金属外壳围成的内部空间与金属外壳外部被测空间相连通,另一个电极为呈棒状结构的电极,所述呈棒状结构电极置于所述金属外壳围成的内部空间中;所述磁系统为多个同性磁极相邻的方式置于磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳表面的磁铁,所述磁系统能提供与棒状结构的电极的轴向一致的磁场。所述的磁铁型冷阴极电离真空规管及包含所述磁铁型冷阴极真空电离规管的真空测量系统,能够提高测量精度和测量范围。
- 一种磁铁型冷阴极真空电离规管-201310262699.4
- 李泞;陈旗;胡鹏飞 - 成都国光电气股份有限公司
- 2013-06-27 - 2013-09-25 - H01J41/06
- 一种磁铁型冷阴极真空电离规管及包含所述磁铁型冷阴极真空电离规管的真空测量系统,一种磁铁型冷阴极真空电离规管,其特征在于,所述磁铁型冷阴极真空电离规管包括电极、磁系统;所述一个电极是所述磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳,所述金属外壳围成的内部空间与金属外壳外部被测空间相连通,另一个电极为呈棒状结构的电极,所述呈棒状结构电极置于所述金属外壳围成的内部空间中;所述磁系统为多个同性磁极相邻的方式置于磁铁型冷阴极真空电离规管的金属外壳表面的磁铁,所述磁系统能提供与棒状结构的电极的轴向一致的磁场。所述的磁铁型冷阴极电离真空规管及包含所述磁铁型冷阴极真空电离规管的真空测量系统,能够提高测量精度和测量范围。
- 真空规管-201010618202.4
- 魏洋;范守善 - 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
- 2010-12-31 - 2011-06-08 - H01J41/06
- 本发明提供一种真空规管,其包括:一冷阴极,其包括一阴极发射单元和与所述阴极发射单元相对设置的一栅极;一屏蔽极,其包括一收容空间和两个端部,该屏蔽极的一端与所述冷阴极相对设置;一阳极环,该阳极环设置于所述屏蔽极的收容空间内;一收集极,其与所述屏蔽极的另一端相对设置;所述阴极发射单元包括至少一电子发射体,该所述电子发射体包括一碳纳米管管状结构,所述碳纳米管管状结构具有一中空的线状轴心,所述碳纳米管管状结构为多个碳纳米管围绕该中空的线状轴心组成,所述碳纳米管管状结构沿所述线状轴心的一端延伸出多个电子发射尖端。本发明提供的真空规管具有良好的灵敏度。
- 专利分类