[发明专利]使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测方法有效
| 申请号： | 201710717616.4 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107796326B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 小野田有吾;佐藤荣广;长谷川晶一;柳川香织;石桥清隆;加藤辉雄;中谷林太郎 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 扫描 白色 干涉显微镜 三维 形状 方法 | ||
【主权项】：
一种三维形状计测方法，其是使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测方法，其中：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据所述包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据所述观测相干长度lc’对所述计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。
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