[发明专利]一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台

摘要

本发明公开一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台，包括微动平台基体，所述微动平台基体从下至上依次包括底板、中间部分以及顶层部分，所述中间部分的中央设置有两个传递梁：传递梁Ⅰ用于连接所述中间部分以及顶层部分的Y向两端的柔性铰链变形结构，传递梁Ⅱ用于连接所述中间部分以及顶层部分的X向两端的柔性铰链变形结构；所述顶层部分由外至内依次设置有柔性铰链变形结构、动平台以及输出平台，所述动平台中央设置有输出平台，所述输出平台两端分别通过杆杠放大机构连接有压电陶瓷驱动器。本发明柔性梁连接动平台的两个解耦部分，实现了驱动力的平均分配及解耦；采用两个音圈电机驱动，实现动平台在XY平面内高精度、大行程的运动。

主权项

一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台,包括微动平台基体，其特征在于，所述微动平台基体从下至上依次包括底板、中间部分以及顶层部分；所述底板的四个顶角上均布置有凸台，用于支撑所述顶层部分，相邻的两个所述凸台之间连接有平行板导向机构，所述平行板导向机构的中部设置有中央凸台，在所述底板的X向和Y向一端的中央凸台处分别布置一个音圈电机驱动器；所述顶层部分由外至内依次设置有柔性铰链变形结构、动平台以及输出平台，所述柔性铰链变形结构由一个沿所述动平台对称轴方向布置的直角板簧片式柔性铰链和两个沿所述动平台对称轴方向对称布置的直角板簧片式柔性铰链构成，两个沿所述动平台对称轴方向对称布置的直角板簧片式柔性铰链的两端连接所述凸台，中间连接传动构件，所述传动构件与所述平行板导向机构连为一体；所述动平台中央设置有输出平台，所述输出平台两端分别通过杆杠放大机构连接有压电陶瓷驱动器；所述中间部分的中央设置有两个传递梁，其中传递梁Ⅰ用于连接所述中间部分以及顶层部分的Y向两端的柔性铰链变形结构，其中传递梁Ⅱ用于连接所述中间部分以及顶层部分的X向两端的柔性铰链变形结构。