[发明专利]一种等离子真空镀膜室的工件同电位测温装置有效
| 申请号： | 201710695439.4 | 申请日： | 2017-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN107475682B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 应世强;尹忠乐;李术杰 | 申请（专利权）人： | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 方萤玉;莫瑶江 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子真空镀膜室的工件同电位测温装置，包括镀膜室罐体和测温电热偶；所述镀膜室罐体的内部形成有镀膜室腔；镀膜室腔内设有工件架和转盘，所述所述工件架固定在所胡转盘上；所述镀膜室罐体上设有开孔；所述测温热电偶的测量端从镀膜室罐体外穿过所述开孔伸入镀膜室腔内；其特征是，所述镀膜室腔内还设有与工件架保持同步，水平旋转的环形导热板；所述环形导热板固定在所述工件架上；所述测温电热偶的测量端与所述环形导热板接触。本发明的具有能更加精准的测量工件所在电位的实际温度，缩短调试工艺的时间，提高生产效率和减少成本等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 真空镀膜 工件 电位 测温 装置 | ||
【主权项】：
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