[发明专利]一种用于测量双光束干涉场周期和相位分布的棱镜组件有效
申请号: | 201710678152.0 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN107421648B | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 李民康;周常河;韦春龙;向显嵩;尹正坤;邓基立 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种用于测量双光束干涉场周期和相位分布的棱镜组件,包括第一棱镜和第二棱镜,第一棱镜和第二棱镜的胶合面镀有分束膜,分束膜镀于第一棱镜或第二棱镜。第一入射光分别从第一棱镜上表面中心入射,经分束膜分束,从第一直角梯形面的斜边面和第二直角梯形面的斜边面对称水平出射;第二入射光分别从第二棱镜上表面中心入射,经分束膜分束,从第一直角梯形面的斜边面和第二直角梯形面的斜边面对称水平出射。移动棱镜可以实现对双光束干涉场周期的测量;在双光束中加入相位调制,可以实现对双光束干涉相位分布的测量。本发明可以用一种棱镜对双光束干涉场进行测量,具有结构简单、成本低的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 测量 光束 干涉 周期 相位 分布 棱镜 组件 | ||
【主权项】:
1.一种用于测量双光束干涉场周期和相位分布的棱镜组件,包括第一棱镜(1)、第二棱镜(2),其特征在于,所述的第一棱镜(1)至少具有一个第一直角梯形面,所述的第二棱镜(2)至少具有一个第二直角梯形面,所述的第一直角梯形面与第二直角梯形面的尺寸相同,所述第一棱镜(1)的第一直角梯形面的短边与所述第二棱镜(2)的第二直角梯形面的短边胶合,形成胶合面,该胶合面上镀有分束膜(3),所述第一直角梯形面的直角边(11)和第二直角梯形面的直角边(21)均镀有增透膜,所述第一直角梯形面的斜边(12)和第二直角梯形面的斜边(22)均镀有全反膜;第一束入射光(4)经所述第一直角梯形面的直角边(11)的中心入射后,经所述分束膜(3)分束,分为第一反射光和第一透射光,该第一反射光经所述第一直角梯形面的斜边(12)反射后,从第一直角梯形面的长边(13)出射;所述第一透射光经第二直角梯形面的斜边(22)反射后,从第二直角梯形面的长边(23)出射;第二束入射光(7)经所述第二直角梯形面的直角边(21)的中心入射后,经所述分束膜(3)分束,分为第二反射光和第二透射光,该第二反射光经所述第二直角梯形面的斜边(22)反射后,从第二直角梯形面的长边(23)出射,所述第二透射光经第一直角梯形面的斜边(12)反射后,从第一直角梯形面的长边(13)出射。
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