[发明专利]具有分开z轴部分的微电子机械系统（MEMS）质量块有效
| 申请号： | 201710665108.6 | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN107576322B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | C·阿卡 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733;G01C19/5726;G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 除了其他情况之外，本发明讨论了用于包括分开z轴部分的微电子机械系统(MEMS)质量块。示例性质量块可包括中心部分，其被配置为将所述质量块锚定于相邻层；第一z轴部分，其被配置为使用第一铰链围绕第一轴旋转，所述第一轴平行于与z轴正交的x‑y平面；第二z轴部分，其被配置为使用第二铰链围绕第二轴旋转，所述第二轴平行于所述x‑y平面，其中所述第一z轴部分被配置为独立于所述第二z轴部分旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分开 部分 微电子 机械 系统 mems 质量 | ||
【主权项】：
一种用于加速计的质量块结构，所述质量块结构利用单个锚与相邻层耦合，所述质量块结构包括：第一z轴部分，其被配置为使用第一铰链围绕第一轴旋转，所述第一轴平行于与z轴正交的x‑y平面；第二z轴部分，其被配置为使用第二铰链围绕第二轴旋转，所述第二轴平行于所述x‑y平面；其中所述第一z轴部分被配置为独立于所述第二z轴部分旋转；以及中心部分，其分别通过第一铰链和第二铰链耦合到第一z轴部分和第二z轴部分，所述中心部分被配置为与所述单个锚耦合，并将所述第一z轴部分和所述第二z轴部分悬挂在所述加速计的相邻层上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海矽睿科技有限公司，未经上海矽睿科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710665108.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种振动及小尺寸空间内对象立体视觉测量方法
- 下一篇：硅泥再利用设备
