[发明专利]密封真空泵隔离阀

摘要

本发明公开一种密封真空泵隔离阀。真空泵隔离VPI阀置于真空泵和真空室之间。在真空泵正常操作期间，VPI阀打开，从而允许真空泵和真空室之间的流体连通。当真空泵例如由于断电变得不可操作时，VPI阀关闭，从而将真空室与真空泵隔离。VPI阀的关闭由真空泵的排气压力驱动。VPI阀由于导向阀的打开而暴露于排气压力下，该导向阀的打开可以由于真空泵停止操作而发生。通过该构造，VPI阀密封并且其操作无需环境空气。

主权项

一种真空泵隔离VPI阀，其包括：泵入口壳体，其包围入口内部；阀元件，其设置在所述入口内部中，所述阀元件构造用于在所述VPI阀的打开状态和所述VPI阀的关闭状态之间切换，并且构造用于响应于压力而切换到所述关闭状态，其中，在所述打开状态下，所述阀元件允许经由所述入口内部在真空泵和真空室之间的流体流动，并且在所述关闭状态下，所述阀元件阻止在所述真空泵和所述真空室之间的流体流动；和导向阀，其构造用于将所述入口内部与所述真空泵的内部排气管线相连通，所述导向阀能够在打开导向阀位置和关闭导向阀位置之间切换，其中，在所述打开导向阀位置，所述导向阀允许来自所述内部排气管线的排气向所述阀元件施加有效地将所述阀元件切换至所述关闭状态的压力，并且在所述关闭导向阀位置，所述导向阀阻止从所述内部排气管线到所述阀元件的排气流动。