[发明专利]柔性OLED的蒸镀设备及其工艺有效
| 申请号： | 201710645113.0 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107254661A | 公开（公告）日： | 2017-10-17 |
| 发明（设计）人： | 杨锦标 | 申请（专利权）人： | 河源耀国电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 517300 广东省河源市龙川县*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种柔性OLED的蒸镀设备及其工艺，该设备包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接。本发明将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀，工件就可以保持均匀，不易形成不规则排列而导致缺陷，本技术的改进避免浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，进而避免薄膜会有空气分子杂质等。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 oled 设备 及其 工艺 | ||
【主权项】：
一种柔性OLED的蒸镀设备，其特征在于，包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接；将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。
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