[发明专利]一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置有效
| 申请号： | 201710608731.8 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107399733B | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张金银;罗杰;熊良明;郭王欢 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/184 | 分类号： | C01B32/184;C23C16/26;C23C16/513 |
| 代理公司： | 武汉臻诚专利代理事务所(普通合伙) 42233 | 代理人： | 胡星驰 |
| 地址： | 430074 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，包括双层石英管、放带真空室、收带真空室、射频离子体发生器和管式炉；所述双层石英管，其放带端通过放带端法兰组件与放带真空室相连，其收带端通过收带端法兰组件与收带真空室相连；所述管式炉套接在所述双层石英管的管身；所述射频离子体发生器设置在所述双层石英管上，位于所述放带真空室和管式炉之间的区域；所述双层石英管，包括同心嵌套的内层石英管和外层石英管，所述内层石英管和外层石英管之间形成环形反应室，所述外层石英管承载石墨烯薄膜基膜。本发明制备石墨烯薄膜，薄膜宽度、制备效率、原料利用率和成膜质量得到大幅提高。 | ||
| 搜索关键词： | 双层石英管 真空室 石墨烯薄膜 收带 外层石英管 管式炉 离子体发生器 制备装置 卷对卷 石英管 带端 内层 射频 制备 环形反应室 原料利用率 法兰组件 同心嵌套 端法兰 成膜 管身 基膜 套接 薄膜 承载 | ||
【主权项】：
1.一种卷对卷的石墨烯薄膜制备装置，其特征在于，包括双层石英管、放带真空室、收带真空室、射频离子体发生器和管式炉；所述双层石英管，其放带端通过放带端法兰组件与放带真空室相连，其收带端通过收带端法兰组件与收带真空室相连；所述管式炉套接在所述双层石英管的管身；所述射频离子体发生器设置在所述双层石英管上，位于所述放带真空室和管式炉之间的区域；所述双层石英管，包括同心嵌套的内层石英管和外层石英管，所述内层石英管和外层石英管之间形成环形反应室，所述外层石英管承载石墨烯薄膜基膜。
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