[发明专利]传感器芯片批量生产的测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 201710586337.9 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107478259A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王玉 | 申请（专利权）人： | 上海申矽凌微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传感器芯片批量生产的测试装置，包括吸笔体(3)、输送管(4)以及吸笔触头(15)、吸笔密封圈(2)；所述吸笔触头(15)与所述吸笔体(3)的一端相连接；所述输送管(4)与所述吸笔体(3)的另一端相连接；所述吸笔密封圈(2)位于所述吸笔触头(15)的外部；所述吸笔密封圈(2)与所述吸笔触头(15)相匹配。本发明还提供了一种传感器芯片批量生产的测试方法，包括测试前准备步骤、测试步骤以及测试完成步骤。本发明具有无需恒温、恒湿条件无需复杂的辅助设备，同时节约了达到恒温、恒湿所需的等待时间。本发明具有单一温度条件无需不同温度间切换，在生产环境的温度、湿度条件下即可进行测试等有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 芯片 批量 生产 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种传感器芯片批量生产的测试装置，其特征在于，包括吸笔体(3)、输送管(4)以及吸笔触头(15)、吸笔密封圈(2)；所述吸笔触头(15)与所述吸笔体(3)的一端相连接；所述输送管(4)与所述吸笔体(3)的另一端相连接；所述吸笔密封圈(2)位于所述吸笔触头(15)的外部；所述吸笔密封圈(2)与所述吸笔触头(15)相匹配。
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