[发明专利]物件厚度测量系统、方法、检测设备及计算机程序产品在审
| 申请号： | 201710581414.1 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN108731602A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;张应 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种物件厚度测量系统，用以测量一物件的厚度。该测量系统包括一第一非接触式测量装置、一第二非接触式测量装置、以及一耦接至该第一非接触式测量装置及该第二非接触式测量装置的运算模块。该第一非接触式测量装置测量该物件的第一侧表面至第一参考面之间的距离，以获得第一间距。该第二非接触式测量装置测量该物件的第二侧表面至第二参考面之间的距离，以获得第二间距。该运算模块根据一参考间距、该第一间距与该第二间距，获得该物件的一测量厚度值。 | ||
| 搜索关键词： | 非接触式测量装置 物件 测量 厚度测量系统 运算模块 参考面 侧表面 计算机程序产品 测量系统 检测设备 耦接 参考 | ||
【主权项】：
1.一种物件厚度测量系统，用以测量一物件的厚度，其特征在于，包括：一第一非接触式测量装置，于第一参考面上移动，测量该物件的第一侧表面至该第一参考面之间的距离，以获得一第一间距；一第二非接触式测量装置，于第二参考面上移动，测量该物件的第二侧表面至该第二参考面之间的距离，以获得一第二间距；以及，一运算模块，耦接至该第一非接触式测量装置及该第二非接触式测量装置，并根据一参考间距、该第一间距及该第二间距，获得该物件的测量厚度值；其中该参考间距为该第一参考面至该第二参考面之间的距离；其中该测量厚度值为该第一侧表面与该第二侧表面相对应的目标位置的测量厚度。
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