[发明专利]一种弱耦合谐振式传感器的扰动位置确定方法

摘要

本发明涉及一种基于模态局部化的多自由度弱耦合传感器的扰动定位方法，属于微机电系统(MEMS)领域。该方法利用多自由度弱耦合谐振器系统的反谐振点来设计一种质量传感器，两个耦合悬臂梁谐振器构成一个耦合谐振器系统，通过动态信号分析仪来分析两个悬臂梁谐振器的幅频响应曲线以观测其反谐振点变化，当谐振器2的反谐振频率发生变化的时候，我们可以判定谐振器1受到了质量扰动，当谐振器1的反谐振频率发生变化的时候，我们可以判定谐振器2受到了质量扰动，反谐振频率与质量干扰之间是一种线性关系，因此也可以通过反谐振频率的变化量来判定质量干扰的大小。

主权项

1.一种弱耦合谐振式传感器的扰动位置确定方法，所述弱耦合谐振式传感器的两个耦合悬臂梁谐振器，即谐振器1与谐振器2构成一个耦合谐振器系统，该方法的特征在于：通过动态信号分析仪分析两个悬臂梁谐振器的幅频响应曲线以观测其反谐振点变化，当谐振器2的反谐振频率发生变化时，判定为谐振器1受到了质量扰动；当谐振器1的反谐振频率发生变化时，判定为谐振器2受到了质量扰动。