[发明专利]一种连续式薄膜生产设备在审
申请号: | 201710560805.5 | 申请日: | 2017-07-11 |
公开(公告)号: | CN107236938A | 公开(公告)日: | 2017-10-10 |
发明(设计)人: | 李留臣;周正星 | 申请(专利权)人: | 江苏星特亮科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/26;C23C16/46;C01B32/186 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种连续式薄膜生产设备,包括基座、中空腔体、沿薄膜的送料方向依次设于中空腔体中的送料机构、加热机构、收料机构;加热机构包括可开合的保温罩、设于保温罩中的加热组件、开设于保温罩中的用于通入通出薄膜的输送通道、设于保温罩靠近送料机构一端的进气分配器、设于保温罩靠近出料机构一端的尾气回收器,进气分配器上设有用于通入通出薄膜的第一开口,尾气回收器上设有用于通入通出薄膜的第二开口。本发明设备通过将送料机构和收料机构设于加热机构外侧,有效的延长了其使用寿命,也避免了因其处于高温区使得石墨烯生长箔带产生卷曲从而影响产品质量。将输送石墨烯的输送通道和加热器均设于保温罩中,提高了加热效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 薄膜 生产 设备 | ||
【主权项】:
一种连续式薄膜生产设备,包括基座,其特征在于:所述设备还包括设于所述基座上的中空腔体、沿薄膜的送料方向依次两两间隔的设于所述中空腔体中的送料机构、加热机构、收料机构;所述加热机构包括可开合的保温罩、设于所述保温罩中的加热组件、开设于所述保温罩中的用于通入通出所述薄膜的输送通道、设于所述保温罩靠近所述送料机构一端的进气分配器、设于所述保温罩靠近所述出料机构一端的尾气回收器,所述进气分配器上设有用于通入通出所述薄膜的第一开口,所述尾气回收器上设有用于通入通出所述薄膜的第二开口。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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