[发明专利]金属构件其制造方法及具有金属构件的处理室

摘要

本发明涉及一种金属构件、其制造方法及具有金属构件的处理室，尤其涉及一种如下的金属构件、其制造方法及具有金属构件的处理室：去除构成使用在显示器或半导体制造制程的金属构件及具有金属构件的处理室的材质的铝合金的添加成分中的存在于表面的添加成分，之后形成无孔的阻障层，由此可防止因以往的具有多孔质层的阳极氧化膜而产生的问题、及因形成在所述母材表面的颗粒形态的添加成分而产生的问题。