[发明专利]一种低温生长石墨烯的方法在审
申请号: | 201710517063.8 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN107161985A | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 汪永辉;汪盛明 | 申请(专利权)人: | 南陵县生产力促进中心 |
主分类号: | C01B32/184 | 分类号: | C01B32/184 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 241300 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种低温生长石墨烯的方法,包括如下步骤1)以结晶状氯化钠(NaCl)为衬底,在其上事先采用磁控溅射方法预沉积一层厚度为10nm的Zn薄膜。2)‑将上述预沉积有Zn膜的NaCl衬底置于管式电阻炉中,加热至300‑350℃,通入H2‑CH4‑N2为反应气体,反应3.5小时。3)反应结束后,关闭电源,继续通入H2气,利用H2气冷却,使样品快速冷却至室温,得到所需的产物石墨烯。根据上述低温生长方法制得的石墨烯,为二维层状结构,竖直生长在衬底上,并互相连接形成多孔结构,形貌结构均匀。本发明生长温度降低至300℃,这是石墨烯生长的非常低的温度;且生长制得的石墨烯形貌均匀、多孔具有搞得比表面积,在超级电容器中具有广阔应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 低温 生长 石墨 方法 | ||
【主权项】:
一种低温生长石墨烯的方法,其特征在于,包括如下步骤:1)以结晶状氯化钠为衬底,在其上事先采用磁控溅射方法预沉积一层Zn薄膜;2)将上述预沉积有Zn膜的氯化钠衬底置于管式电阻炉中,加热至300‑350℃,通入H2‑CH4‑N2为反应气体,反应3.5小时;3)反应结束后,关闭电源,停止通入N2和CH4,继续通入H2气,并使气体压强升至1000Pa,利用H2气冷却,使样品快速冷却至室温,得到所需的产物石墨烯。
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