[发明专利]灯丝、电离室及离子植入设备在审
| 申请号： | 201710495834.8 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107331596A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 谢锐 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公布了一种灯丝，所述灯丝包括第一端部、第二端部及位于所述第一端部与所述第二端部之间的连接部，所述第一端部和所述第二端部用于电连接至供电器件，所述第一端部通过所述连接部相对所述第二端部弯折，并且弯折的所述连接部的截面尺寸与所述第一端部及所述第二端部的截面尺寸相同。本发明还公布了一种电离室及离子植入设备。灯丝截面尺寸均匀，灯丝各部位的阻值相同，灯丝通电后各部位产生的热电子数量相同，热电子与离子源气体撞击产生等离子体，灯丝周围的等离子体浓度均匀，避免出现灯丝某部位附近等离子体浓度过高腐蚀灯丝，灯丝不易断裂，提高了灯丝的寿命，降低了离子植入设备的维护成本和显示设备的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 灯丝 电离室 离子 植入 设备 | ||
【主权项】：
一种灯丝，应用于离子植入设备，其特征在于，所述灯丝包括第一端部、第二端部及位于所述第一端部与所述第二端部之间的连接部，所述第一端部和所述第二端部用于电连接至供电器件，所述第一端部通过所述连接部相对所述第二端部弯折，并且弯折的所述连接部的截面尺寸与所述第一端部及所述第二端部的截面尺寸相同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司，未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710495834.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
