[发明专利]一种改善PECVD镀膜膜色的方法

摘要

本发明涉及晶体硅电池片表面减反膜制作技术领域，具体为一种改善PECVD镀膜膜色的方法，将石墨舟清洗好后进行两次饱和，包括以下步骤：步骤1：先把石墨舟拆开，然后在两片舟片的定位柱卡点对应位置装上陶瓷粒，最后把石墨舟组装好，进行第一次饱和；步骤2：把石墨舟两侧的螺丝拧松，晃动舟页把定位柱卡点处的陶瓷粒取出来，拧紧石墨舟两侧的螺丝并校准，然后进行第二次饱和；第一次饱和完成后，待石墨舟冷却后，再进行第二次饱和。本发明既保证了石墨舟的饱和度，又尽可能少的在定位柱卡点上沉积氮化硅，使定位柱卡点与硅片之间的导电性、导热性受到的影响相对较少，从而使氮化硅膜沉积更均匀，减轻镀膜的色差。

主权项

1.一种改善PECVD镀膜膜色的方法，其特征在于，将石墨舟清洗好后进行两次饱和，包括以下步骤：步骤1：对石墨舟舟片的定位柱卡点进行保护，然后进行第一次饱和；步骤1的具体步骤如下：先把石墨舟拆开，然后在两片舟片的定位柱卡点对应位置装上陶瓷粒，最后把石墨舟组装好，进行第一次饱和；步骤2：将步骤1中定位柱卡点的保护物取出，然后进行第二次饱和；步骤2的具体步骤如下：把石墨舟两侧的螺丝拧松，晃动舟页把定位柱卡点处的陶瓷粒取出来，拧紧石墨舟两侧的螺丝并校准，然后进行第二次饱和。