[发明专利]一种振镜系统连续自适应的在线校正方法

摘要

一种振镜系统连续自适应的在线校正方法，振镜控制系统采用的是连续自适应方法对振镜误差进行在线检测、在线校正，通过在线学习训练，建立连续的自适应的模糊规则库，然后计算连续的自适应的模糊规则库中每个节点处模糊规则前件部分的相应激励强度，并对激励强度进行归一化处理；归一化后的激励强度，结合相应的权重值输出数据，连续的输出了横纵坐标的数据，本发明能够保证任意精度逼近任意的非线性函数，在线调整误差；同时可以针对多输入多输出、多输入单输出控制反馈系统，及时修正，有效的降低了系统误差，实现精度控制的智能化，提高制作精度。

主权项

1.一种振镜系统连续自适应的在线校正方法，其特征在于，包括以下步骤：/n1)打开激光器电源(1)发出激光，振镜控制系统(2)调节X轴反射镜(3)、Y轴反射镜(4)，激光经过X轴反射镜(3)、Y轴反射镜(4)后进入动态聚焦镜(5)，进而，激光光斑聚焦在平面台(6)，平面台(6)安装有光学传感器(7)；/n2)源数据通过振镜控制系统(2)的D/A转换卡将数字信号转换成模拟信号控制X轴反射镜(3)、Y轴反射镜(4)，光学传感器(7)显示出新坐标，通过光学传感器(7)把新坐标数据反馈振镜控制系统(2)中；/n3)振镜控制系统(2)采用的是连续自适应方法对振镜误差进行在线检测、在线校正,具体包括以下步骤：/n3.1)振镜控制系统(2)采用五层网络结构，分别为输入层、输入变量的隶属度层、激励层、归一化层、输出层；输入层由源数据组成，源数据将网络与外部数据连接起来，仅起到数据信息的传递作用，对输入信息不进行任何变换；输入变量的隶属度层为递归最小平方误差函数，对输入数据进行非线性变换，确定模糊规则；激励层根据模糊规则计算出激励强度；归一化层是对相应的激励强度进行归一化处理；输出层是根据归一化的激励强度，结合相应的权重值提供输出；/n3.2)源数据横坐标组成集合O1,O1＝{x