[发明专利]离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置有效

专利信息
申请号: 201710447946.6 申请日: 2017-06-14
公开(公告)号: CN107064175B 公开(公告)日: 2019-11-01
发明(设计)人: 刘福涛;郑权;胡恒广;王丽红;严永海 申请(专利权)人: 福州东旭光电科技有限公司;东旭集团有限公司
主分类号: G01N21/958 分类号: G01N21/958;B65G49/06
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 陈庆超;桑传标
地址: 350000 福建省福州市保税港区加工贸易区监管大*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 本公开涉及一种离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置,该传送装置包括机架组件、安装到机架组件上的顶升组件、气浮组件、定位组件和驱动组件,气浮组件用于气浮玻璃基板,顶升组件可沿竖直方向升降以具有伸出位置和收纳位置,在伸出位置,顶升组件在竖直方向凸出于气浮组件以承接或承送玻璃基板,在收纳位置,顶升组件在竖直方向不凸出于气浮组件以由气浮组件浮起玻璃基板,定位组件在传送玻璃基板前将玻璃基板定位在气浮组件上,驱动组件夹紧并驱动定位后的玻璃基板沿气浮组件的长度方向往复移动。因此,有效避免滚轮传送对玻璃基板边部质量的影响,减少缺陷的产生,实现高精度传送,结合检测单元能实现玻璃基板高精度定位和检测。
搜索关键词: 玻璃基板 气浮组件 顶升组件 传送装置 竖直 缺陷检测装置 定位组件 机架组件 驱动组件 伸出位置 收纳位置 离线式 传送玻璃基板 玻璃基板沿 高精度定位 滚轮传送 结合检测 气浮玻璃 边部 浮起 基板 夹紧 升降 承接 传送 驱动 检测
【主权项】:
1.一种离线式玻璃基板传送装置,其特征在于,包括机架组件(1)、安装到所述机架组件(1)上的顶升组件(2)、气浮组件(3)、定位组件(4)和驱动组件(5),所述气浮组件(3)用于气浮所述玻璃基板,所述顶升组件(2)可沿竖直方向升降以具有伸出位置和收纳位置,在所述伸出位置,所述顶升组件(2)在竖直方向凸出于所述气浮组件(3)以承接或承送所述玻璃基板,在所述收纳位置,所述顶升组件(2)在竖直方向不凸出于所述气浮组件(3)以由所述气浮组件(3)浮起所述玻璃基板,所述定位组件(4)用于在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮组件(3)上,所述驱动组件(5)用于夹紧并驱动定位后的所述玻璃基板沿所述气浮组件(3)的长度方向往复移动,所述驱动组件(5)包括用于可松开地夹紧所述玻璃基板的长度方向的边部的夹紧结构(50)和用于驱动该夹紧结构(50)沿所述气浮组件(3)的长度方向往复移动的一对线性电机(51),且该一对线性电机(51)分别布设在所述气浮组件(3)的宽度方向上的两侧,所述线性电机(51)的定子(511)沿所述气浮组件(3)的长度方向延伸且固定到所述机架组件(1)上,所述夹紧结构(50)固定到所述线性电机(51)的动子(512)上,每个线性电机(51)的动子(512)上均固定有可沿所述气浮组件(3)的宽度方向伸缩的第二伸缩件(52),所述夹紧结构(50)固定到所述第二伸缩件(52)的伸缩端上。
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