[发明专利]抛光方法在审
申请号: | 201710439550.7 | 申请日: | 2017-06-12 |
公开(公告)号: | CN107309710A | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 赵慧佳;路新春;沈攀 | 申请(专利权)人: | 天津华海清科机电科技有限公司;清华大学 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 300350 天津市津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种抛光方法,所述抛光方法包括将两片待抛光物的待抛光面对向放置并在两个待抛光面之间放入抛光液,使两个待抛光物相对移动进行抛光。根据本发明的抛光方法,通过使两个待抛光物相对移动有利于保证抛光过程的顺利进行,并且可同时抛光两个待抛光物的两个平面,由此,可以提高生产效率,减少耗材使用,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 抛光 方法 | ||
【主权项】:
一种抛光方法,其特征在于,所述抛光方法包括:将两片待抛光物的待抛光面对向放置并在两个待抛光面之间放入抛光液,使两个待抛光物相对移动进行抛光。
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