[发明专利]过热氢交联反应的原子激发装置

摘要

本发明为用于过热氢交联反应的原子激发装置，此技术方案使用固态微波发生器和永磁铁，从气体通道导入的氢气在微波和特定强度磁场共同作用下产生电子回旋共振现象，氢气在等离子腔内被电离，高压电极上施加负电压，被离化的氢离子被引出等离子腔加速进入漂移管，与中性氢原子发生碰撞产生超热氢原子，本技术方案中使用体积小且磁性稳定的永磁铁，且直接导入由固态微波发生器产生的微波，使整个等离子发生器的体积较传统的电子回旋共振等离子发生器极大的减小，并且利于通过叠加的方式增加材料的处理面积和范围，利于实现工业化生产。

主权项

用于过热氢交联反应的原子激发装置，其特征在于：包括底座，所述底座下方设置有等离子腔，所述等离子腔侧壁上开设有气体通道，所述等离子腔下方连接漂移管，所述底座上设置有至少一个电子回旋共振同轴等离子体发生器，所述电子回旋共振同轴等离子体发生器包括垂直设置的永磁铁和微波导入装置，所述微波导入装置为同轴线接口，所述同轴线接口连接固态微波发生器，所述固态微波发生器内装设有与所述电子回旋共振同轴等离子体发生器相对应数量的发生器模组，所述永磁铁下方设置有高压电极组。