[发明专利]过热氢交联反应的原子激发装置

权利要求书

1.用于过热氢交联反应的原子激发装置，其特征在于：包括底座，所述底座下方设置有等离子腔，所述等离子腔侧壁上开设有气体通道，所述等离子腔下方连接漂移管，所述底座上设置有至少一个电子回旋共振同轴等离子体发生器，所述电子回旋共振同轴等离子体发生器包括垂直设置的永磁铁和微波导入装置，所述微波导入装置为同轴线接口，所述同轴线接口连接固态微波发生器，所述固态微波发生器内装设有与所述电子回旋共振同轴等离子体发生器相对应数量的发生器模组，所述永磁铁下方设置有高压电极组。

2.根据权利要求1所述用于过热氢交联反应的原子激发装置，其特征在于：所述高压电极组包括从上至下顺次设置的第一高压电极片、第二高压电极片、第三高压电极片和第四高压电极片，所述第一高压电极片、第三高压电极片和第四高压电极片为中间带孔的圆形电极片，所述第二高压电极片设置于所述第一高压电极片和第三高压电极片之间，所述第二高压电极片呈圆筒形，所述第二高压电极片上均匀开设有圆孔，所述第二高压电极片设置于所述漂移管内。

3.根据权利要求2所述用于过热氢交联反应的原子激发装置，其特征在于：所述第一高压电极片、第二高压电极片、第三高压电极片和第四高压电极片分别连接可供调压装置。

4.根据权利要求1所述用于过热氢交联反应的原子激发装置，其特征在于：所述底座为圆形，所述底座上均匀设置有若干个电子回旋共振同轴等离子体发生器。

5.根据权利要求1所述用于过热氢交联反应的原子激发装置，其特征在于：所述气体通道入口设置有阀门。

6.根据权利要求1所述用于过热氢交联反应的原子激发装置，其特征在于：所述永磁铁表面设置有冷却管，所述冷却管内充有循环的冷却水，所述冷却管的入口和出口设置于所述电子回旋共振同轴等离子体发生器顶端。