[发明专利]一种增大SYCO-314薄膜激光感生电压的方法有效
| 申请号： | 201710421107.7 | 申请日： | 2017-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN107287564B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 虞澜;胡建力;宋世金;刘安安;黄杰 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开一种增大SYCO‑314薄膜激光感生电压的方法，属于功能薄膜材料领域，在Sr3YCo4O10.5+δ靶材中掺入Ca并通过脉冲激光沉积用Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ多晶靶材在c轴倾斜的单晶衬底上制备Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ外延薄膜，从而获得增大激光感生电压的薄膜；本发明能显著提高Sr3YCo4O10.5+δ薄膜激光感生电压，且重复性好、易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增大 syco 314 薄膜 激光 感生 电压 方法 | ||
【主权项】：
1.一种增大SYCO‑314薄膜激光感生电压的方法，其特征在于，在Sr3YCo4O10.5+δ靶材中掺入Ca并制备成薄膜，具体包括以下步骤：（1）掺Ca多晶靶材的制备：按照Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ化学计量比称取原材料SrCO3、CaCO3、Y2O3、Co3O4，即Sr:Ca:Y:Co=(3‑x):x:1:4，其中x=(0.05～0.1)，研磨混匀后压制成型，进行二次烧结，冷却得到掺Ca多晶靶材Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ；（2）掺Ca倾斜薄膜的制备：通过脉冲激光沉积用步骤（1）得到的多晶靶材在c轴倾斜的单晶衬底上制备Sr3‑xCaxYCo4O10.5+δ外延薄膜。
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