[发明专利]一种用于显示装置的过孔成形方法有效

专利信息
申请号: 201710417095.0 申请日: 2017-06-06
公开(公告)号: CN107170787B 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 李唐求;赵瑜 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L21/768
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开一种用于显示装置的过孔成形方法,将几种不同深度尺寸的过孔成形整合在同一道成膜与光刻工艺中,从而避免每一个深度尺寸的过孔都要进行一道成膜与光刻工艺,使得总成膜与光刻工艺次数小于等于不同深度尺寸的过孔数量。本发明的用于显示装置的过孔成形方法通过减少成膜与光刻工艺次数的方式简化生产制程,降低生产成本。由于根据产品中过孔深度尺寸对过孔的成形次序进行了排列组合,使得该方法下过孔成形总工艺过程所耗时间远远小于传统过孔成形工艺中的过孔成形时间,极大程度上缩短了过孔成形生产周期。使得该工艺特别适用于柔性OLED等过孔数量、过孔深度尺寸要求严格的平板显示装置的加工生产。
搜索关键词: 一种 用于 显示装置 成形 方法
【主权项】:
一种用于显示装置的过孔成形方法,所述方法包括以下步骤:1)对需成形的至少两个过孔的预计成形位置进行一次加工;2)对未成形的至少一个过孔的预计成形位置进行一次加工,完全成形至少一个过孔;3)重复步骤2),直至所有过孔都完全成形;其中,深度相同的过孔视为一个过孔。
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